La tarea
En las fábricas de semiconductores modernas, las cajas para obleas, como las cajas de transporte de apertura frontal (FOSB) o las cápsulas universales de apertura frontal (FOUP), siguen siendo transportadas manualmente de estación a estación en la actualidad. Estas cajas se usan para el transporte seguro y el almacenamiento temporal de obleas sensibles durante el proceso de producción y se las debe manejar con sumo cuidado.
El desafío
Muchas fábricas todavía confían en la mano de obra humana para transportar y posicionar las cajas para obleas. Sin embargo, los empleados son una posible fuente de contaminación que debe evitarse tanto como sea posible en el entorno ultralimpio de la producción de semiconductores. También se hace cada vez más difícil encontrar personal para tareas monótonas y repetitivas, en especial teniendo en cuenta la escasez en aumento de mano de obra cualificada. Los robots móviles pueden servir de ayuda para reducir la escasez de personal y el riesgo de contaminación. Sin embargo, los sistemas de transporte autónomos como los vehículos de guiado automático (AGV) o los robots móviles autónomos (AMR) no siempre ofrecen un posicionamiento preciso. Según el tipo de sistema, pueden producirse desviaciones de posición de varios centímetros. Estas imprecisiones tienen un efecto directo sobre la posición de agarre del brazo del robot. Si no logra agarrar la caja para obleas, puede dañar la caja o las obleas que contiene. Una caja llena de obleas puede valer entre € 10,000 y € 100,000 y, en algunos casos, mucho más.
Nuestra solución
VISOR® Robotic ofrece una solución precisa y fiable para el manejo automatizado de cajas para obleas. En combinación con la tecnología Target Mark 3D, la cámara posibilita la detección y determinación precisas de la posición para el vehículo y el brazo del robot. El sensor de visión proporciona las coordenadas de posición en las coordenadas del robot, lo que le permite a este ajustar sus puntos de agarre con precisión, independientemente de las mínimas desviaciones del AGV. El sensor de visión puede calibrarse y recalibrarse fácilmente de un robot a otro, lo que reduce el esfuerzo necesario para su integración, minimiza los tiempos de inactividad y garantiza la fiabilidad del proceso en el entorno sumamente sensible de la producción de semiconductores.
Ventajas
- Datos de posición 3D precisos desde un sensor de visión 2D con Target Mark 3D
- Alta fiabilidad de proceso y reducción de riesgos de contaminación
- Requiere menos esfuerzo para su integración
- Bajo tiempo de inactividad gracias a su calibración y recalibración automatizadas
